X射线荧光光谱仪（X-ray fluorescence spectrometer），简称XRF，是一种具有快速、无损、多元素同时分析、操作简单、使用成本较低的检测仪器，在冶金、水泥、矿石、石油、化工、医疗、土壤、塑料、RoHS、首饰、镀层等多个领域和行业发挥着重大作用。

X射线荧光光谱仪由X射线发生器、探测器、辅助控制系统、工控电脑及其内置的专用算法软件系统组成。

在高压电源产生高电压的情况下，X射线管内的高速电子流激发到金属靶材上产生初级X射线，通过准直和滤光后激发到样品表面，样品内的原子核外电子产生跃迁，跃迁的能量即为二次X射线，又称特征谱线。每种元素的特征谱线的波长和能量均不相同，在经过特定的光电探测器检测后，转换为不同高度的脉冲信号，这些信号经过特殊的信号处理之后，就可以得到计算机软件能识别的光谱谱形，最后经过FP算法处理计算，即可得到成分和镀层厚度的分析结果。